目前, 国外在海洋传感器的产业化方面已经相当成熟, 产品性能也居于世界领先地位。国产海洋传感器技术研究虽已经取得了长足进步，部分指标甚至已达到国际先进水平, 但其产品的批量生产几乎空白, 业务应用更是严重依赖于进口，进口传感器几乎占据了我国海洋调查的“整壁江山”。如何打破这一技术受困的局面，这家本土企业在三年多的潜心研发中迎来了重大进展。
近日，厦门市敬微精密科技有限公司基于MEMS工艺技术研制的CYH1454606型深海用压力传感器（以下简称CYH1454606型深海传感器）成功完成千米海试，各项指标比肩业界通用的进口传感器，实现卡脖子技术重大突破。
敬微精密深海比测对象为国际知名的温盐深剖面仪（CTD）。测试结果表明（图2），CYH1454606型深海压力传感器测量的压力值和变化趋势与进口传感器高度一致，重合度超过99.9%。这一成绩不仅证明了我们在深海压力传感器领域的技术实力，突破了“卡脖子”技术，也标志着我国自主研发的深海压力传感器达到了国际先进水平，未来有望在全球海洋技术竞争领域掀起新的波澜。
这一创新的突破，展现了敬微精密带头人和一流研发团队的卓越实力，也展现了他们对高端MEMS传感器的执着追求。据了解，公司创始人兼首席科学家、CTO系全球MEMS微加工领域顶尖专家，为50多家世界级科技企业提供精密微加工设备、微加工元件，代表性作品有SQUID量子超导传感器、柱列阵元件、高深宽比的小孔系列、燃料电池开发的元件等。
研发骨干来自德国哥廷根大学的理学博士、德国马克斯普朗克学会博士后、日本国立共同研究机构分子科学研究所JSPS博士后、中国科学院上海光学精密机械研究所硕士&博士、英国帝国理工的硕士以及英国诺丁汉大学、厦门大学和国内芯片传感器企业高端人才等。
敬微精密是一家核心设备自己制造、关键工艺自己研发的高端MEMS芯片传感器公司，始终坚持以“传感器核心技术自主可控”为己任，依托自研设备和工艺结合优势，攻关耐高温、高精度、高可靠性的压力芯片传感器关键技术，解决长期制约我国航空航天、深海、核能石化和高端制船等领域的发动机压力测量“芯”的难题，以国际顶尖水平的超精密加工能力，集中做自主可控的高端MEMS压力芯片传感器为主，填补国内市场空白，实现高端领域“中国芯”的突破。
