智芯公司等联盟成员单位入选MEMS器件可靠性试验创新联合体首批成员单位

近日，MEMS器件可靠性试验创新联合体（以下简称“联合体”）成立大会在京召开，北京智芯微电子科技有限公司（以下简称“智芯公司”）、中科院微电子所、中科院空天研究院等4家中国传感器与物联网产业联盟（以下简称“联盟”）成员入选联合体首批成员单位，国家市场监管总局、北京市科委相关领导出席成立大会并讲话。

MEMS器件可靠性试验创新联合体成立大会

联合体由TC336（全国微机电标委会）秘书处单位中国机械总院集团基础制造技术研究院（以下简称“中机研”）发起成立，成员单位涵盖北京大学、清华大学、哈工大、中电科三十八所等科研院所、高校及国内传感器头部企业。联合体将重点围绕MEMS器件设计仿真分析、基础材料研发、标准工艺设计、测试技术、MEMS器件产品研发与中试验证等领域开展技术攻关，加速MEMS器件研发创新与孵化。未来，联合体将充分发挥各成员单位资源优势，以实际行动践行国资委“要加快发展战略性新兴产业，支持中央企业牵头建立创新联合体，加快打造原创技术策源地，强化关键核心技术攻关”要求。

联盟成员单位智芯公司长期致力于磁敏、压力、超声等MEMS芯片可靠性机理研究及产品研制，承担了多项国家科技部、工信部的MEMS相关重大科技项目。作为TC336成员单位，智芯公司牵头TC336能源领域MEMS技术标准研究组工作，组织预研的《微机电系统(MEMS)技术 MEMS磁传感器技术规范》《微机电系统(MEMS)技术车规级MEMS半导体气体传感器技术规范》2项国家标准提案正在国标委立项公示，预计今年5月底正式立项。同时，在联盟能源专委会标准工作方面，与中机研紧密合作，共同组织专委会成员单位开展标准预研工作，已发布4项团标，正在起草4项行标。

MEMS器件可靠性试验创新联合体成员单位授牌

下一步，联盟成员单位将积极参与联合体建设，深度研究MEMS器件测试技术，实现对MEMS器件在线检测和封装后的检测，并依托联合体怀柔创新基地重点实验室及MEMS研发平台，面向MEMS器件典型应用场景，开展产品研发与中试验证。同时充分联合各单位开展科技项目合作，加强能源领域传感器的基础技术和应用研究，推进我国智能传感器的国产化进程，为新质生产力发展提供技术引擎。

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