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上海工研院成功量产多款非制冷红外探测器产品

SITRI 研发中试线
工艺研发

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近年来,随着集成电路技术和微机电系统(MEMS)技术的飞速发展,非制冷红外焦平面阵列探测器技术日趋成熟,系列化产品也逐步实现大规模量产。上海工研院聚焦“超越摩尔”集成电路核心工艺研发,并于2018年开始布局非制冷红外探测器技术。经过多年的技术研发和攻关,建立由标准模块工艺组成的红外传感器成套工艺平台。

上海工研院已经为多家重要客户提供非制冷红外探测器通用工艺和定制化工艺服务,包括非晶硅和氧化钒(VOx)技术路线,多颗产品进入量产,产品性能优越。就像元尺寸而言,上海工研院已成功量产17μm和12μm的产品,8μm像元的产品也已完成技术开发,正在开始小批量量产。从阵列规模上看,上海工研院可以提供从小到大不同像素超大阵列产品的选择,帮助客户提升产品竞争力。

图1 氧化钒非制冷红外探测器成套工艺

随着越来越多客户提出更多的技术需求,上海工研院将进一步优化已有平台工艺,持续开发新的技术,并不断提高产品良率和工艺的稳定性,为广大客户提供优质的服务。

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邮箱:Jessica.Cao@sitri.com

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上海微技术工业研究院(SITRI)成立于2013年,由上海市科学技术委员会、嘉定区政府和中国科学院上海微系统与信息技术研究所发起成立,是集研发、工程、产业化及培育于一体的研发与转化功能型平台,为创新企业及合作伙伴提供深度工艺技术支持和服务。SITRI在上海联和投资有限公司服务国家战略、做科创发展先行者排头兵战略使命的指导下,依托中国科学院上海微系统所“三位一体”创新架构模式建立,通过上海微系统所技术力量的支撑以及上海新微科技集团投资运营模式的支持,与国内外众多的产、学、研组织建立了紧密的合作关系,实现创新成果的高效率产业化,加速“超越摩尔”产业生态系统建立。

· SITRI拥有全国首条8英寸“超越摩尔”(More than Moore)研发中试线,提供MEMS、硅光、生物芯片等“超越摩尔”核心工艺技术,为设计、装备和材料等半导体公司提供高效的研发、中试和验证服务,实现从研发到小批量生产无缝对接。

· 截至目前,SITRI已累计申请专利877项,发明专利697项,其中PCT(国际专利)专利56项。

· SITRI立足上海、面向长三角、辐射全国,已初步形成“超越摩尔”领域的产业生态体系。