原子层沉积
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氧化铝成膜举例：
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- 极佳的附着力：前驱体与基底材料的化学吸附保证了极佳的附着力。
- 饱和吸附特性：表面反应的自限制性使工艺的自动化成为可能，同时不需要精确的剂量控制和操作人员的持续介入。
- 有序反应：薄膜的数字化有序生长过程提供了极高的薄膜精度。
- 表面控制反应：表面反应确保了在任何条件下薄膜的高保型，不管基底材料是致密的、多孔的、管状的、粉末状的或是其它具有复杂形状的物体。
- 精确性和可重复性：一个循环的薄膜生长厚度是由工艺决定的，但通常是1Å。
- 超薄，密实和平整：无针孔薄膜，例如高质量的阻挡层和表面钝化。
- 较宽的温度窗口，低温生长。
电子束蒸镀
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常用e型枪工作原理示意图：
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- 电子束轰击热源的束流密度高，能获得远比电阻加热源更大的能量密度，可以使高熔点材料蒸发，并且能有较高的蒸发速度；
- 由于被蒸发材料是置于水冷坩埚内，因而可避免容器材料的蒸发，以及容器材料与蒸镀材料之间的反应，提高镀膜的纯度；
- 热量可直接加到蒸镀材料的表面，因而热效率高，热传导和热辐射的损失少。
热蒸发
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宁波启朴芯微薄膜制备工艺能力表
宁波启朴芯微系统技术有限公司镀膜样品：
关于启朴芯微：
宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于MEMS器件设计、工艺开发、流片代工，建有全系8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，拥有光学类与SOI类特色工艺能力，提供对准光刻、深硅刻蚀、晶圆键合、薄膜沉积、减薄抛光、湿法腐蚀、氧化退火、激光划片、打线封装等工艺开发与稳定流片服务。
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