当前位置:

山东产研微纳与智能制造研究院有限公司

简介:山东产业技术研究院面向山东省经济社会发展科技需求,建设产业技术新型研发机构和创新生态,打造引领全省创新驱动发展的核心引擎,布局微纳与智能制造、信息与智能融合、先进材料、绿色与健康四大创新中心。微纳与智能制造院聚焦微纳制造技术,建设了国内领先的MEMS中试平台——硅基微纳制造公共技术服务平台,专注4&6英寸硅基 MEMS产品的体硅及面硅工艺,支持生产压力传感器、加速度计、陀螺仪、磁力计、射频、量子传感、太赫兹传感等产品。平台面向高校、研究院、企业提供单项工艺或成套工艺的全方位资源与代工服务,解决设计到量产的关键工艺问题,加速技术→产品→商品的产业化进程,通过内引外联及产业转化构建MEMS 产业生态,带动MEMS产业大发展。