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北京大学

简介:微纳电子学研究院目前已发展成为我国最好的微纳电子科技研究与教育基地之一,有29名教授/研究员、4名教授级高级工程师、33名副教授/副研究员/高级工程师和3名讲师,包括国际微电子著名专家、中国科学院院士、研究院首席科学家王阳元教授,中国科学院院士黄如教授,教育部“长江学者奖励计划”特聘教授1人。 研究院拥有微米/纳米加工技术国家级重点实验室、微电子器件与电路教育部重点实验室和北京市软硬件协同设计高科技重点实验室等3个国家和省部级重点实验室;拥有各类工艺和检测设备200余台套、1500平方米超净间和300平方米检测区,价值近2亿元;具有小到亚10纳米结构,大到硅片穿通刻蚀的极限加工能力;多种CMOS和硅基MEMS标准工艺满足科研代工和人才培养需求,重复可靠的基础工艺支持各类器件芯片研制,保证CMOS-MEMS集成化工艺研发;每年完成800余项工艺实验处理万余个基片,服务300名内部用户和70多个国内用户单位,使各类国家级科研项目高水平完成。