传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一，从宇宙开发到海底探秘，从生产的过程控制到现代文明生活，几乎每一项技术都离不开传感器。近年来，我国的传感器技术正飞速发展，应用领域也在不断扩大。在传感器产业化发展中，诞生了一批“尖子生”企业。
SIA联盟是什么？
伴随着物联网和智能制造的兴起，智能传感器也得到了广泛地关注。近年来，我国政府对智能传感器产业的发展加大扶持力度，国家和地方都出台了针对传感器的相关政策。
中国传感器与物联网产业联盟在此背景下于2016年成立，联盟由工业和信息化部指导和支持，通过联合联盟成员单位以及各省市级物联网、传感器联盟、协会及其他相关行业组织，产业协会，发挥产学研合作，整合资源优势，加快传感器、智能硬件、物联网应用等核心技术研发，推动我国物联网产业核心技术及其应用的关键产品的标准化。
2020年，SIA联盟正式启动“SIA感知领航优秀项目征集”，吸引了众多优秀企业参与，沈阳仪表科学研究院有限公司（下文简称“沈阳仪表院”）就是其中的一家。
传感器研发“国家队”
沈阳仪表院是始建于1961年的国家级科研院所，1999年转制为企业，现隶属于中国机械工业集团有限公司。作为中国机械工业仪器仪表行业的创新型领军企业，从七·五科技攻关就开始承担传感器的国家科技攻关项目，经过60年的创新发展，现已完成科研项目1794项，获得奖励407项，授权专利451项；完成标准472项。
作为传感器国家工程研究中心的依托建设单位和传感器核心研发“国家队”，沈阳仪表院始终以构建传感器领域国家科技力量，服务国家战略所需为己任，瞄准国内重点领域高端传感器元器件“卡脖子”问题，不断攻坚克难，开展技术与产业化研究攻关，解决了大量的卡脖子问题，交出了一份份“硬核”成绩单。特别是硅基压力传感器、精密弹性力学组件、精密光学滤光器件等特种高端产品，解决了国内包括能源、航空、航天在内的多项国家级特殊需求。本次参评的项目就是典型的范例。
在本次项目征集中，沈阳仪表院提交了“SOI高温压力敏感芯片及芯体”项目，并获得了感知领航优秀项目——技术进步类。
这款SOI压力传感器中的核心敏感芯片因使用的是绝缘膜取代PN结隔离技术进行敏感电阻间的电隔离，保障了传感器可在高温条件下长期稳定的工作；产品的使用温度达到-55℃～+300℃。
图：压力传感器芯体测试区及测试设备
布局产业化 助力更多“中国造”
被外界称为全国传感器产业的一张闪亮的“名片”，沈阳仪表院看准5G、AI技术发展所带动的市场需求，顺应行业发展趋势，多年来，已形成了芯片、传感器、智能仪表、光机电一体化装备、仪表成套系统等一条完整的产业链。满足从晶圆端开始到传感器、变送器的全部生产制造，向着解决国内工业基础传感器有“器”无“芯”的尴尬局面而努力。
图：精密光学薄膜芯片线
图：硅基压力敏感芯片线
图：传感器国家工程研究中心
（依托沈阳仪表院，于1995年启动建设，2002年经国家计委批复挂牌成立）
说在最后
沈阳仪表院拥有传感器领域的技术储备和转制院所的研发优势，为我国高端装备制造业、航空航天、电子、新能源等领域发展提供助力。未来，沈阳仪表院如何发展？我们拭目以待。
